浙江水晶光电申请体全息光栅曝光系统专利, 具有稳定性高、杂光少等优点

金融界2025年5月12日消息，国家知识产权局信息显示，浙江水晶光电科技股份有限公司申请一项名为“一种体全息光栅曝光系统”的专利，公开号CN119960269A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本申请提供一种体全息光栅曝光系统，涉及光学技术领域，包括沿光轴依次设置的光源、滤波器、扩束器、掩膜版、透镜和曝光基板，掩膜版上具有与待曝光干涉场周期一致的衍射光栅，透镜位于掩膜版的泰伯距离或泰伯子像距离处，曝光基板与光轴之间呈夹角设置；光源出射的光线经滤波器过滤高阶杂散光，再经扩束器转化为平行准直的扩束光线，扩束光线垂直照射在掩膜版上，经透镜在曝光基板上曝光。基于光栅自成像效应产生光强周期性分布的泰伯像或泰伯子像对光敏材料进行曝光，具有稳定性高、杂光少、掩膜版设计简单、制造成本低的优点。

天眼查资料显示，浙江水晶光电科技股份有限公司，成立于2002年，位于台州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本139063.2221万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江水晶光电科技股份有限公司共对外投资了27家企业，参与招投标项目57次，财产线索方面有商标信息29条，专利信息514条，此外企业还拥有行政许可33个。

本文源自：金融界